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国网智慧能源科技园产业化示范基地竣工

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此外,智慧ZrO2-BTMST光刻胶的化学成分极少,可实现高精度图案化,线宽小至38nm。典型代表:科技氧化锆(ZrO2)混合光刻胶,其灵敏度几乎比聚合物基光刻胶高两个数量级,并且一直保持着极紫外光刻领域的最高灵敏度记录。

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在近20年的高敏感材料探索中,园产业化金属氧化物基光刻胶的出现,为极紫外光源和反射镜不协调挑战带来了解决方案。在打印精度方面,示范获得了LW为38nm的打印图案。基地竣工ZrO2杂化光刻胶无需与聚合物复合即可具有优异的成膜能力。

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国网©2023SpringerNature.图2基于多边形激光扫描仪的TPL使用ZrO2-BTMST光刻胶在780nm光波长下曝光的图案。©2023SpringerNature.五、智慧【成果启示】作者报告了一种用于高速TPL制造的极灵敏ZrO2-BTMST光刻胶。

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科技原文详情:https://doi.org/10.1038/s41565-023-01517-w。

在这些方法中,园产业化基于激光直接打印的TPL因其相当高的分辨率(250nm尺度)而被认为是最有前途的方法之一。考虑到付费墙的存在,示范Sci-Hub具备有直接获取订阅式期刊上85%的已发表论文。

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